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世界最小加速度計(jì)問世，有望應(yīng)用于新一代可穿戴設(shè)備！
MEMS/NEMS 是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來，融合光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工以及精密機(jī)械加工等技術(shù)制作而成的...[詳細(xì)]
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MEMS/NEMS 是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來，融合光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工以及精密機(jī)械加工等技術(shù)制作而成的...[詳細(xì)]
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