硅烷作為含硅薄膜和涂層的應用已從傳統的微電子產業擴展到鋼鐵、機械、化工和光學等各個領域。含硅涂層可使普通鋼的高溫耐氧化能力提高到10萬倍以上,也可使其它金屬的高溫化學穩定性大大改善，使內燃機葉片的耐蝕性明顯增強，使各種材料和零件之間的粘結強度大幅度提高，使汽車發動機零件的壽命延長，也可改變玻璃的反射和透射性能，從而得到顯著的節能和裝飾效果。在浮法玻璃生產過程中用硅烷在玻璃表面涂敷一層反光層其粘附力極強在長期陽光照射下不褪色, 透光率只有普通玻璃的1 /3; 用氮化硅涂敷的大面積多晶硅電池( BSNSC) 已達到15. 7%的高效率。用硅烷氣相沉積技術制造各種含硅薄膜在高技術中的應用還在與日俱增。如何安全用氣仍然是整套硅烷系統的首要難題。
安全技術措施：
硅烷站的電氣控制室應設置在獨立的房間內，與硅烷氣瓶庫等有爆炸危險的房間相鄰時，相鄰的隔墻不得有門窗、洞口、隔離的耐火極限不得低于3h。硅烷站變壓器室不得設在硅烷站內，也不得與硅烷站房毗鄰設置。硅烷系統的設備應進行防靜電接地。
硅烷排風管道的氣體偵測器的報警設定值，應等于或小于硅烷爆炸濃度下限值的25%，并與硅烷氣源的自動切斷閥連鎖；硅烷站的環境氣體偵測器的報警設定值應等于或小于5ppm，環境氣體偵測器報警時，硅烷控制系統不應切斷硅烷輸送管路。
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